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德國Physik Instrumente高分辨率光度計(jì)晶圓探測，包裝。不需要測量光功率值的所有應(yīng)用中的FMPA對準(zhǔn)系統(tǒng)的附件。

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Physik Instrumente位移臺貨期短自動配置和快速的組件更換 機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機(jī)械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時(shí)，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能都會使用此數(shù)據(jù)