德國(guó)Physik Instrumente移臺(tái) Z向位

一、Physik Instrumente應(yīng)用領(lǐng)域

樣本操縱、樣本定位、高精度和高穩(wěn)定性光學(xué)或機(jī)械部件、半導(dǎo)體行業(yè)中的機(jī)械部件、顯微操縱、顯微鏡、自動(dòng)化、有限空間內(nèi)的應(yīng)用、真空或無(wú)磁性環(huán)境中的應(yīng)用。

 二、Physik Instrumente產(chǎn)品詳情

利用交叉滾柱軸承，滾珠軸承中的滾珠的接觸點(diǎn)被淬火滾柱的線接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預(yù)載更小，這減少了摩擦并實(shí)現(xiàn)了更平滑的運(yùn)行。交叉滾柱軸承的另一個(gè)特征是高導(dǎo)向精度和負(fù)載能力。滾動(dòng)主體架的受迫導(dǎo)向防止?jié)L柱軸承發(fā)生蠕變

三、產(chǎn)品展示

規(guī)格參數(shù)

主動(dòng)軸：Z

行程：6.5毫米

系統(tǒng)分辨率: 0.5納米

集成傳感器: PIOne線性編碼器：增量，光學(xué)，直 接測(cè)量

傳感器分辨率: 0.5納米

小位移:1納米

速度，閉環(huán):2.5毫米/秒

單向重復(fù)精度:6納米

雙向重復(fù)性:7納米

Z向運(yùn)動(dòng)時(shí)X向上的線性串?dāng)_:1.8微米

Z向運(yùn)動(dòng)時(shí)Y向上的線性串?dāng)_:2微米

Z向運(yùn)動(dòng)時(shí)θX向上的轉(zhuǎn)動(dòng)串?dāng)_:25微弧度

Z向運(yùn)動(dòng)時(shí)θY向上的轉(zhuǎn)動(dòng)串?dāng)_:41微弧度

Z向運(yùn)動(dòng)時(shí)θZ向上的轉(zhuǎn)動(dòng)串?dāng)_:34微弧度

大負(fù)載容量:25牛

電機(jī)類(lèi)型: NEXACT壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器

驅(qū)動(dòng)力:20牛

保持力（被動(dòng)）:25牛

工作電壓:-10到45伏

工作溫度范圍: 10至50 °C

: 920克

材料: 鋁，陽(yáng)極氧化致黑

電纜長(zhǎng)度:3米

連接器: HD Sub-D 15針（公頭）

傳感器連接器: Sub-D 15（母頭）

推薦電控: E-861.1A1

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